Lam Research Corp 価格

ラム・リサーチ・コーポレーション（Lam Research Corporation）は、集積回路の製造に使用される半導体プロセス用装置を設計、製造、販売、リファービッシュ（再整備）、サービス提供しています。同社は、タングステンのメタライゼーション用途向けにコンフォーマル・フィルムを成膜するためのALTUSシステム、銅ダマシン製造を提供する銅インターコネクトのトランジション向けの電気化学堆積製品SABRE、フィルム処理用の紫外線熱処理製品SOLA、ならびにプラズマ強化CVD ALD製品のVECTORを提供しています。また、高密度プラズマの化学気相堆積製品であるSPEEDギャップフィル、ならびに誘電体フィルムのソリューション向けの単一ウェーハ原子層堆積製品Strikerも取り扱っています。さらに、誘電体エッチング用途向けのFlex、導体エッチング用途向けのKiyo、スルーススィルコン・ビア（TSV）エッチング用途向けのSyndion、金属エッチプロセス向けのVersysメタル製品も提供しています。加えて、ダイの歩留まり向上のためのCoronusベベル・クリーニング製品、さまざまなウェーハ洗浄用途に対応するDa Vinci、DV-Prime、EOS、SPシリーズ製品、ならびに半導体ウェーハ製造における高精度のインライン質量測定のためのMetryxマス・メトロロジー・システムも提供しています。同社は、米国、中国、欧州、日本、韓国、東南アジア、台湾、そして世界各地の半導体業界向けに、製品およびサービスを販売しています。ラム・リサーチ・コーポレーションは1980年に設立され、本社はカリフォルニア州フリーモントにあります。